1、熱式質(zhì)量流量傳感器優(yōu)勢:
(1)靈敏度高:熱式傳感器對溫度的變化非常敏感,因此非常易于測量;
(2)功耗低:因?yàn)槌叽绾透袦夭牧系牟粩鄡?yōu)化,傳感器的功耗越來越低;
(3)尺寸?。含F(xiàn)在的熱式傳感器結(jié)構(gòu)因?yàn)椴捎茫停牛停庸に?,一般是厘米或者微米級?/span>
(4)量程大:測量下限很低,可以測量微小流量;
(5)集成度高:結(jié)合MEMS工藝可以將芯片、流道和信號處理電路集成到一起;
(6)結(jié)構(gòu)簡單:硅基片上結(jié)構(gòu)包裝后方便安裝在需要的設(shè)備上;(7)成本低:可以結(jié)合成熟的集成電路工藝在硅基上批量生產(chǎn)。2、熱式質(zhì)量流量傳感器劣勢:
(1)測量氣體組分單一:當(dāng)氣體種類改變時,不同氣體的導(dǎo)熱系數(shù)、粘度、比熱容都有差別,測量時會帶來較大的誤差;
(2)要求氣體干燥無污染:濕度較大的氣體對傳感器表面的熱量交換有影響,進(jìn)而影響到輸出結(jié)果;顆粒物對傳感器的輸出結(jié)果也有影響。